近日，蘇創(chuàng)投·國發(fā)創(chuàng)投所投企業(yè)芯達半導體設備（蘇州）有限公司（以下簡稱：芯達半導體設備）發(fā)布兩款全國產(chǎn)化自主知識產(chǎn)權光刻膠精密定量泵，打破日美在該項技術的多年壟斷，分別為PCV500/3000系列光刻膠涂覆定量泵和前道工藝涂膠精密定量泵SPCV300系列。

      晶圓表面光刻膠涂覆工藝設備為采用光刻機轉印生產(chǎn)芯片（集成電路）的關鍵設備，其中精密光刻膠定量泵為光刻膠涂覆機的關鍵部件，目前該部件長期為日美兩國相關企業(yè)壟斷。芯達半導體設備（TDSEMI）經(jīng)過近四年努力，成功推出的兩系列產(chǎn)品打破日美兩國企業(yè)在該項技術的幾十年壟斷地位，突破又一項我國在芯片領域的卡脖子技術，為國產(chǎn)28納米以上涂膠顯影設備提供穩(wěn)定零部件供應。

      新推出的PCV500/3000系列光刻膠涂覆定量泵采用氣動和電動兩種驅動模式，泵體采用PTFE柔性腔室體積線性形變定量技術，具備高潔凈度高防腐蝕及表面不沾污性，快速精準補液放液技術提高設備單位面積的生產(chǎn)效率（持續(xù)高頻供液技術），其中氣動控制重復吐出精度0.5%，電動控制重復吐出精度高達0.3%，使用壽命高達30萬次以上。

     

        新推出的SPCV300系列前道工藝涂膠精密定量泵采用電控雙極往復驅動技術，泵體采用雙PTFE柔性腔室定量技術，具備高潔凈度高防腐蝕及表面不沾污性，連續(xù)補液放液技術提高設備單位面積的生產(chǎn)效率（持續(xù)高頻供液技術）。泵系統(tǒng)集成光刻膠吐出后多段回吸技術，可有效控制吐出光阻濃度穩(wěn)定。該泵重復吐出精度高達0.15%，使用壽命高達40萬次以上。此款定量泵具有緩壓自潔功能，集成系統(tǒng)管道技術，無需額外管道布置，簡化供膠系統(tǒng)結構，提升設備穩(wěn)定性減少故障率。
     涂膠顯影設備屬于晶圓制造過程中的核心設備之一，特別是屬于黃光區(qū)核心設備之一，目前多依賴于進口，芯達是國內(nèi)為數(shù)不多的在涂膠顯影設備領域能夠批量出貨的企業(yè)之一。此次，核心部件的推出為公司后續(xù)更高階的涂膠顯影設備提供了保障。在中美貿(mào)易關系緊張的大背景下，芯達有望在國產(chǎn)替代的大背景下做大做強并在半導體前道領域獲得突破。